Pala cantilever in carburo di silicio
Dettaglio prodotto e applicazione
La pagaia / trave a sbalzo in carburo di silicio SiSiC / SiC con grande forza di caricamento del wafer è adatta per un sistema di caricamento e movimentazione automatico del robot perché ha prestazioni stabili, indeformabilità ad alta temperatura e grande forza di caricamento del wafer. Poiché la sezione della paletta a sbalzo è stabile senza deformazioni, è possibile realizzare wafer di dimensioni maggiori utilizzando i tubi del forno esistenti. La paletta / trave cantilever SiSiC / SiC in carburo di silicio di grande forza di carico può essere applicata a LPVCD sulla base del suo coefficiente di espansione termica simile con rivestimento LPVCD, che prolunga notevolmente il ciclo di manutenzione e pulizia e riduce significativamente gli inquinanti.
Parametri tecnici del carburo di silicio legato a reazione RBSIC:
| articolo | unità | dati |
| Temperatura di applicazione | ℃ | 1380 |
| densità | G / cm3 | > = 3.02 |
| Porosità aperta | % | <0,1 |
| Scala di durezza di Moh | 13 | |
| Resistenza alla flessione | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulo di elasticità | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Conduttività termica | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Coefficiente di espansione termica | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Alcalina resistente agli acidi | Eccellente |
Caratteristiche:
un. Non si deforma ad alta temperatura e la forza di caricamento del wafer è elevata;
b. Eccellente resistenza agli shock termici e lunga durata;
c. Il coefficiente di dilatazione termica della paletta a sbalzo è estremamente ridotto, il che prolunga notevolmente il ciclo di manutenzione e pulizia;
e ridurre drasticamente gli inquinanti
Altri mobili da forno realizzati in ceramica al carburo di silicio
Oltre alla paletta cantilever SiSiC in carburo di silicio sinterizzato Reaction per il caricamento dei wafer, produciamo anche altri mobili da forno, tra cui travi in carburo di silicio RBSIC / SISIC, tubi con ugello, tubo con ugello a spirale, tubo con ugello a turbolenza, piastre / piastre di incastonatura in carburo di silicio SIC con legante ossido e tubi di raffreddamento RBSIC .
Prodotti in carburo di silicio RBSIC / SISIC resistenti all'usura
Poiché il nostro prodotto in carburo di silicio RBSIC / SISIC presenta i vantaggi di un'eccellente resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e lunga durata, può anche essere trasformato in rivestimenti resistenti all'usura che possono essere facilmente installati nei tubi di lavorazione o nei cicloni.
